滲碳是將碳原子滲透到鋼表面的過程。它還使低碳鋼工件具有高碳鋼表面層，然后淬火和低溫回火，使工件表面層具有高硬度和耐磨性，工件中心部分仍保持低碳鋼的韌性和塑性。
真空滲碳，又稱低壓滲碳，是一種化學熱處理工藝，在低于大氣壓的大氣中進行氣體滲透，使碳原子滲透到零件表面。其整個過程與普通氣體基本相同，由三個過程組成：滲碳氣體的分解、活性碳原子的吸收和活性碳原子的向內擴散。具體過程包括零件清洗、裝載和真空（≤2000Pa）、加熱及均熱(900～1000℃）、滲碳及擴散、熱處理等步驟。
根據不同階段的工藝參數，整個真空滲碳過程可分為一段、脈沖和擺動。真空度、溫度和滲碳時間會隨具體要求而變化。
常用的滲碳氣體包括丙烷、甲烷、乙炔、天然氣等。為了防止碳黑，氣體純度應大于96%，氮氣可以適當稀釋和擴散。
滲碳氣體的流量應增加爐內壓力133.33Pa/s。目前，C3H8(丙烷)和C2H2(乙炔)是國內外真空滲碳熱處理中主要使用的滲碳介質。真空滲碳溫度一般介于920～在1080℃之間，根據需要處理的零件的類型、形狀特征和滲碳層深度來確定具體選擇。
真空低壓滲碳在組織和性能、工藝靈活性、生產成本和環境保護等方面具有無與倫比的優勢，不需要使用二氧化碳和二氧化碳，而是通過高碳流量實現高效碳轉移，使工件表面奧氏體碳濃度快速飽和，有效克服了普通氣體滲碳的缺點。與傳統的碳滲透工藝相比，真空碳滲透具有以下優點：
經過真空滲碳技術處理的產品具有良好的表面凈化和活化效果，滲碳速度快，滲碳時間約為普通滲碳的一半至三分之一
在真空中加熱，沒有其他異常滲碳氣體，因此不會產生氧化問題
處理部件溫度均勻后，滲碳過程均勻
22.真空滲碳～29%的熱量用于加熱零件，普通滲碳只有6%～節能環保10%，熱效率高